三坐標測量儀的測量方式根據所需測量產品特性通常可分為接觸式測量、非接觸式測量和接觸與非接觸復合式測量，目前三坐標測量機已經廣泛應用于汽車、航天工業、模具及機加工領域并在學校科研單位也得到了廣泛使用對提升國內產品總體競爭力取到不可忽視的作用。三坐標測量儀的測量方法分為：
1、接觸式探針測量三坐標測量儀（最常用使用最普遍）；
2、影像復合式三坐標測量儀；
3、激光復合式三坐標測量儀（主要應用于產品測量與逆向抄數掃描）；
    其中，接觸測量方式常用于機加工產品、壓制成型產品、金屬膜等的測量。為了分析工件加工數據，或為逆向工程提供工件原始信息，經常需要用三坐標測量機對被測工件表面進行數據點掃描。三坐標測量機的掃描操作是應用DMIS程序在被測物體表面的特定區域內進行數據點采集，該區域可以是一條線、一個面片、零件的一個截面、零件的曲線或距邊緣一定距離的周線等。將被測物體置于三坐標測量空間，可獲得被測物體上各測點的坐標位置，根據這些點的空間坐標值，經計算求出被測物體的幾何尺寸，形狀和位置。基本原理就是通過探測傳感器（探頭）與測量空間軸線運動的配合，對被測幾何元素進行離散的空間點位置的獲取，然后通過一定的數學計算，完成對所測得點（點群）的分析擬合，最終還原出被測的幾何元素，并在此基礎上計算其與理論值（名義值）之間的偏差，從而完成對被測零件的檢驗工作.三坐標測量機的組成：1、主機機械系統（X、Y、Z三軸或其它）；2、測頭系統；3、電氣控制硬件系統；4、數據處理軟件系統（測量軟件）；5、正向工程：產品設計--制造--檢驗（三坐標測量機）6、逆向工程：早期：美工設計--手工模型（1：1）--3軸靠模銑床當今：工件（模型）--維測量（三坐標測量機）--設計--制造7、逆向工程定義：將實物轉變為CAD模型相關的數字化技術，幾何模型重建技術和產品制造技術的總稱。廣義逆向工程：包括幾何逆向，工藝逆向，材料逆向，管理逆向等諸多方面的系統工程。8、逆向工程設備：8.1、測量機：獲得產品三維數字化數據（點云/特征）；8.2、曲面/實體反求軟件：對測量數據進行處理，實現曲面重構，甚至實體重構；8.3、CAD/CAE/CAM軟件。8.4、數控機床；9、逆向工程中的技術難點：9.1、獲得產品的數字化點云（測量掃描系統）；9.2、將點云數據構建成曲面及邊界，甚至是實體（逆向工程軟件）；9.3、與CAD/CAE/CAM系統的集成。
三坐標測量儀操作：
1、量測前準備：
（a）檢查空氣軸承壓力是否足夠
（b）安裝工件
2、測頭選擇及安裝：
（a）將適當之測頭裝于Z軸承接器
（b）檢視Z軸是否會自動滑落（否則應調整紅色壓力平衡調整閥）
（c）鎖定各軸之適當位置
3、量測操作：
（a）開啟處理機電源
（b）啟開打印機開關
（c）參考操作手冊，選擇所需功能之指令
（d）進行量測，并讀出量測值
4、完成后注意事項：
（a）Z軸移至原來位置后，鎖定
（b）X,Y軸各移至中央，鎖定
（c）關電源及壓力閥
（d）取下測頭
（e）并作適當的保養